在高純水的生產(chǎn)過程中，水中的陰陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術(shù)等去除，水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術(shù)去除;水中的細(xì)菌，目前國內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應(yīng)用領(lǐng)域中，水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性，因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。

超純水設(shè)備是反滲透設(shè)備跟離子交換混床或EDI相結(jié)合配套使用。

離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質(zhì)溶液中進(jìn)行的，可去除水中的各種陰、陽離子，是目前制備超純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當(dāng)原水通過離子交換柱時，水中的陽離子和水中的陰離子(HCO3-等離子)與交換柱中的陽樹脂的H+離子和陰樹脂的OH-離子進(jìn)行交換，從而達(dá)到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質(zhì)達(dá)到更高的要求，生產(chǎn)出達(dá)到更高標(biāo)準(zhǔn)的超純水。

超純水工藝流程

1、反滲透設(shè)備+離子交換設(shè)備：

原水→原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑投加設(shè)備→精密過濾器→高壓泵→反滲透主機(jī)(單級或者雙級)→CQ2脫氣塔→中間水箱→中間水泵→離子交換床→終端過濾器→超純水

2、反滲透設(shè)備+EDI裝置：

原水→原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑投加設(shè)備→精密過濾器→高壓泵→反滲透主機(jī)(單級或者雙級)→CQ2脫氣塔→中間水箱→中間水泵→EDI裝置→超純水

EDI設(shè)備：去離子(Electrodeionization)簡稱EDI，是一種將離子交換技術(shù)，離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù)。屬高科技綠色環(huán)保技術(shù)。EDI凈水設(shè)備具有連續(xù)出水、無需酸堿再生和無人值守等優(yōu)點(diǎn)，已在制備純水的系統(tǒng)中逐步代替混床作為精處理設(shè)備使用。EDI技術(shù)的環(huán)保特性好，操作使用簡便，愈來愈多地被人們所認(rèn)可，也愈來愈多廣泛地在醫(yī)藥、電子、電力、化工等行業(yè)得到推廣。

優(yōu)點(diǎn)：1.無需酸堿再生：在混床中樹脂需要用化學(xué)藥品酸堿再生，而EDI則消除了這些有害物質(zhì)的處理和繁重的工作。保護(hù)了環(huán)境。2.連續(xù)、簡單的操作：在混床中由于每次再生和水質(zhì)量的變化，使操作過程變得復(fù)雜，而EDI的產(chǎn)水過程是穩(wěn)定的連續(xù)的，產(chǎn)水水質(zhì)是恒定的，沒有復(fù)雜的操作程序，操作大大簡便化。3.降低了安裝的要求：EDI系統(tǒng)與相當(dāng)處理水量的混床相比，有較不的體積，它采用積木式結(jié)構(gòu)，可依據(jù)場地的高度和窨靈活地構(gòu)造。模塊化的設(shè)計，使EDI在生產(chǎn)工作時能方便維護(hù)。