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lynceetec數(shù)字全息顯微鏡DHM是Lyncee Tec公司的專利技術(shù)。其工作原理為:全息圖由參考光束和經(jīng)被測(cè)物體表面反射的物光光束相互干涉形成,攜帶有被觀測(cè)物體的波前信息,由CCD捕捉,再通過計(jì)算機(jī)對(duì)所記錄的全息圖進(jìn)行數(shù)值重建來得到被測(cè)物體的相位和振幅(光強(qiáng))信息,進(jìn)完成被測(cè)物體的數(shù)值三維重建。
DHM® 縱向分辨率達(dá)到了亞納米,橫向分辨率則由所選物鏡決定。其獨(dú)特非掃描三維成像機(jī)制克服了傳統(tǒng)限制,可高速測(cè)量動(dòng)態(tài)三維形貌(1000fps),動(dòng)態(tài)響應(yīng)。
北京大學(xué)——應(yīng)變鼓膜測(cè)量納米薄膜的動(dòng)態(tài)力學(xué)性能;
清華大學(xué)——微納制造與測(cè)試,微小光學(xué)元件檢測(cè),微電子制造;華中科技大學(xué),天津大學(xué)(精密測(cè)量)、東南大學(xué)(MEMS)、浙江師范大學(xué)、蘇州大學(xué)、南京航空航天大學(xué)等。更多應(yīng)用請(qǐng)咨詢payne@rayscience.com
DHM® 采用非掃描機(jī)制,采集單幀圖像 既能記錄樣品表面三維形貌,因此擁有其他技術(shù)無法匹敵的圖像采集速度,可以達(dá)到1000幀/秒,使得以下應(yīng)用變?yōu)榭赡埽?/span>
? 研究可形變樣品三維動(dòng)態(tài)響應(yīng)
? 表面大區(qū)域掃描分析
? 生產(chǎn)線在線三維形貌捕捉
頻閃模塊(可選配件)可同步DHM® 測(cè)量時(shí)激光脈沖與 MEMS器件的激勵(lì)信號(hào),獲取振動(dòng)周期內(nèi)的全視場(chǎng)振動(dòng)模態(tài)。 這些特有的分析數(shù)據(jù)可提供以下信息:
? 三維形貌時(shí)序圖
? 頻率共振分析和響應(yīng)分析
? 面內(nèi)面外振幅分析(面內(nèi)振幅測(cè)量精度1nm,面外振幅測(cè)量精度5pm)
? 復(fù)雜運(yùn)動(dòng)表征,振動(dòng)模態(tài)表征,樣品動(dòng)態(tài)三維形貌