SL-3供氣（混氣）系統(tǒng)供氣（混氣）系統(tǒng)本供氣（混氣）系統(tǒng)可用于多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)，尤其方便多種氣體的切換混合使用；氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，操作方便；每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全可靠！ 本系統(tǒng)廣泛用于CVD供氣系統(tǒng)，氣體保護燒結，氣體保護退火等。
SL-3供氣（混氣）系統(tǒng)的詳細介紹
SL-3供氣（混氣）系統(tǒng)
主要特點：
1．本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會造成大氣進入加熱爐管。
2．氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
4．顯示流量準確，可有效地控制氣體消耗量。
5．所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。
技術參數(shù)：
氣路通道：3（可根據(jù)客戶需求設計1-8通道）
氣路流量控制器采用質(zhì)量流量計控制：
標準量程（N2） ：200，500 SCCM
準 確 度 ：±1.5%
線 性 ：±0.5～1.5%
重 復 精 度 ：±0.2%
響 應 時 間 ：氣特性 1～4 See
電特性 10 See
工作壓差范圍 ：0.1～0.5 MPa
最 大 壓 力 ：3 MPa
接 口 ：Φ6,1/4”
顯 示 ：4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度:5~45℃
高純氣體不銹鋼管：Φ6外X Φ4內(nèi)
壓 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截 止 閥 ：Φ6
備注：可選配質(zhì)量流量計
??
??
??
?
