用途：半導(dǎo)體材料在我國(guó)是一種新型工業(yè)，它的生產(chǎn)過(guò)程控制嚴(yán)格，要求很高的安全性。本公司開發(fā)的ETCH、CVD系列，一方面能滿足本國(guó)生產(chǎn)要求，同時(shí)可以提供安全出口之需要。
特點(diǎn)： ◆ 本裝置采用元件需經(jīng)過(guò)UL認(rèn)證或國(guó)內(nèi)外相應(yīng)認(rèn)證機(jī)構(gòu)的認(rèn)證。
◆打開柜門、用手觸摸不到元件帶電部分，已有接線全部用聚碳酸板隔離絕緣。
◆需測(cè)量的點(diǎn)位、設(shè)有專用測(cè)量點(diǎn)。
◆各種配電柜和配電箱均有緊急停止按鈕（EMO）確保人身安全和設(shè)備保護(hù)。
型號(hào)規(guī)格：◆ 交流電源配電柜（AC RACK 2.0）
◆交流配電箱（AC Box）
◆系統(tǒng)控制柜（controller Box）
◆直流配電箱（DC Box）
技術(shù)參數(shù)：額定電壓：208V
額定頻率：50HZ
額定電流：400A
直流電源：DC V
